세션 트랙

11월 23일 (월요일)

PSS12

신기능성산화물의물성이해및응용심포지엄

PSS12-1

14:30-15:30

성능 높은 압전MEMS소자 개발 위해 단결정 PMN-PZT 박막 본딩 공정 개발

영서광, 백승협(한국과학기술연구원)

PSS12-2

14:30-15:30

후열처리 공정에 따른 실리콘 기판 위 단결정 성장된 Yittria-Stabilized Zirconia 박막의 특성

최형진, 백승협(한국과학기술연구원 전자재료연구센터)

PSS12-3

14:30-15:30

버퍼층을 이용하여 실리콘에 에피성장시킨 PMN-PZT 박막

정수영(한국과학기술연구원 전자재료연구센터), 박진수(한국과학기술연구원 뇌과학기획단), 이병현, 원성옥(한국과학기술연구원 특성분석센터), 이병철(한국과학기술연구원 뇌과학기획단), 장호원(서울대학교 재료공학부), 백승협(한국과학기술연구원 전자재료연구센터)